Термостатированный генератор 10 мгц

Термостатированные кварцевые автогенераторы

Кварцевые автогенераторы представляют собой стабильные источники колебаний фиксированной частоты. Благодаря высокой добротности и низкому уровню фазовых шумов они широко применяются в связном оборудовании различного назначения, военной и медицинской технике, аэрокосмической промышленности. Кроме того, высокостабильные кварцевые АГ могут использоваться в качестве стандартов частоты наряду с рубидиевыми (Rb), цезиевыми (Cs) и водородными (Hs) или входить в их состав в качестве вспомогательных элементов.

Особенностью термостатированных АГ является разогрев помещенного в термостат резонатора до определенной температуры и постоянное ее поддержание во время работы прибора.

Для обеспечения высокой стабильности частоты необходимо выполнение ряда условий по выбору температуры термостата. С одной стороны, она должна находиться в точке перегиба кривой частотно-температурной стабильности резонатора (рис. 1), что обусловливает максимальную устойчивость частоты при небольших вариациях температуры. С другой — внутренняя температура термостата должна быть несколько выше температуры окружающей среды. Это условие связано с выделением тепла активными и пассивными элементами автогенератора. Обычно значение внутренней температуры термостата выбирают на 10–15 °С выше максимально возможной температуры кварцевого АГ.

Частотно-температурные кривые кварцевых пластин SC- и AT-

Рис. 1. Частотно-температурные кривые кварцевых пластин SC- и AT-

При выборе термостатированных автогенераторов учитываются как стандартные параметры, характеризующие автогенераторы [2], так и непосредственно связанные с наличием термостата: время выхода на рабочий режим (Warm up time) и мощность, необходимая для прогрева термостата (Warm up power).

Время выхода на рабочий режим — период с момента включения автогенератора до достижения номинальной стабильности частоты. Величина этого параметра составляет 1–10 мин (рис. 2) и зависит от температуры окружающей среды, типа термостатирования, степени изоляции термостата и предельно допустимого уровня потребляемой мощности такого прибора.

Время выхода на рабочий режим при прогреве термостатированного автогенератора

Рис. 2. Время выхода на рабочий режим при прогреве термостатированного автогенератора

Мощность прогрева термостата — уровень мощности, требуемый для приведения термостата в рабочее состояние. Максимальное потребление мощности (Рп макс.) в термостатированных автогенераторах приходится на момент включения и прогрева устройства (рис. 3а), а также при работе на низких температурах (рис. 3б).

Потребление мощности термостатированным автогенератором: а) при включении; б) при изменении температуры окружающей среды

Рис. 3. Потребление мощности термостатированным автогенератором:
а) при включении;
б) при изменении температуры окружающей среды

В OCXO применяются резонаторы как АТ-, так и SC-среза. Чаще предпочтение отдается последним, поскольку в сравнении с пластинами АТ-среза они обладают лучшими характеристиками температурной стабильности (1–10 ppb) и старения (в среднем 2 ppb/день). При проектировании термостатированных автогенераторов нужно учитывать возможное влияние температурных характеристик всех его элементов, а не только резонатора. Компоненты АГ имеют собственные температурные характеристики, влияющие на общую стабильность частоты устройства. В зависимости от требуемого значения частотно-температурной стабильности и массогабаритных показателей, в термостат помещается только резонатор или резонатор вместе с термочувствительными элементами автогенератора. По этому принципу термостатирование делится на внутреннее и внешнее.

Кварцевые резонаторы с внутренним термостатированием построены на основе резонаторов-термостатов [5, 6]. В этом случае осуществляется непосредственный контакт кварцевого резонатора с датчиком температуры, в качестве которого выступают термисторы или позисторы, монтируемые на металлическое основание кварцедержателя. Разогрев, как правило, происходит с помощью транзистора. Кварцевая пластина с системой термостатирования размещается в вакуумированном корпусе ТО-8 (рис. 4). Особенность такого типа АГ заключается в малом времени установки частоты (стабильность 0,1 ppm достигается за 30–60 с [7]) и относительно небольшом энергопотреблении.

Внешний вид кварцевого автогенератора с внутренним термостатированием

Рис. 4. Внешний вид кварцевого автогенератора с внутренним термостатированием

В прецизионных АГ с внешним термостатированием (рис. 5) стабильность частоты при изменении температуры в пределах –40…+80 °С составляет 0,5–300 ppb (табл. 1).

Кварцевый автогенератор с внешним термостатированием в разрезе

Рис. 5. Кварцевый автогенератор с внешним термостатированием в разрезе

Миниатюризация кварцевых АГ с внешним термостатированием возможна за счет применения некорпусированного кварцевого резонатора. Такая практика не является распространенной из-за ухудшения параметров старения резонатора. Однако специалисты компании Vectron International смогли обеспечить старение бескорпусного резонатора на уровне, близком к старению корпусированного резонатора, благодаря патентованной технологии EMXO (Evacuated Miniature Crystal Oscillator — вакуумированные термостатированные кварцевые автогенераторы, рис. 6). Размеры корпуса модели EX-380 составляют 20,8×13,2×7,6 мм. Уменьшение габаритных показателей позволило снизить мощность, потребляемую на разогрев термостата, и время выхода на рабочий режим. Выходная частота EMXO стабилизируется через 2–3 мин после включения до 100 ppb. Напряжение питания 3,3 и 5 В. Стабильность частоты при изменении температуры составляет примерно 10 ppb.

EMXO а) в разрезе; б) структурная схема EX 380

Рис. 6. EMXO
а) в разрезе;
б) структурная схема EX 380

Компания

Модель

Fном, Гц

Uпит±5%, В

Δf/f, ±ppb

Траб., °С

Опция 40/90 — термостатированный опорный генератор (10 МГц)

Термостатированный опорный генератор (10 МГц), высокая долговременная стабильность частоты (< 1,5×10 -8 в год).

Комплект поставки Опция 40/90

Наименование Количество
1. Опция-40/90 термостатированный опорный генератор (10 МГц) 1

Частотомеры лабораторные и другие современные электроизмерительные приборы имеют широкий функционал, что существенно упрощает любые расчеты как в лабораторных, так и в полевых условиях. Плюс большинство из них выполнено в компактном форм-факторе, а это одно из главных условий беспроблемной эксплуатации. Опция 40/90 — термостатированный опорный генератор (10 МГц) — эталон по всем критериям. Удобство использования сочетается с отличными рабочими характеристиками и впечатляющей надежностью. Прибор работает быстро и четко, отвечает отраслевым стандартам и не требует сложного затратного обслуживания.

  • Безналичный расчет (для юридических лиц). Вместе с заказом вышлите нам реквизиты Вашей компании. Отдел продаж выставит Вам счёт и вышлет его по электронной почте и факсу.
  • Банковский перевод (для физических лиц). Наши менеджеры вышлют Вам по электронной почте счет на оплату, который Вы можете оплатить через любой банк действующий на территории РФ (комиссия банка может составлять 2-5% от суммы стоимости заказа).
  1. Самовывоз При получении груза с нашего склада необходимо иметь при себе: Доверенность (форма № М-2, утверждённая постановлением Госкомстата России от 30.10.97 №71а) или печать от организации Получателя на право получения оборудования.
  2. ДОСТАВКА АВТОТРАНСПОРТОМ МЕРАТЕСТ по Москве и Московской области осуществляется бесплатно если сумма оплаченного Вами счета превышает 300 (триста тысяч) рублей. Стоимость остального вида доставки груза по Москве и Московской области составляет от 500 до 1500 рублей. Точную стоимость доставки просим уточнять у менеджеров Метрологического Центра МЕРАТЕСТ. ВНИМАНИЕ:ожидание водителя на месте разгрузки товара составляет не более 30 минут.Для получения продукции Вам необходима печать или доверенность.
  3. Доставка через транспортную компанию ДЕЛОВЫЕ ЛИНИИ Доставка Деловыми линиями является оптимальной с точки зрения соотношения скорости перевозки и цены. Доставка до склада транспортной компании по г. Москве осуществляется нашей компанией бесплатно.Сразу же после отправки груза к Вам на эллектронную почту придет уведомление об отправки груза, в виде отсканированной ТТН. По ее номеру на сайте ТК Деловые Линии Вы сможете отследить отправку и местонахождение Вашего груза.

Гарантия 12 месяцев, если иное не предусмотрено заводом производителем В течении 30 дней компании обязуется заменить прибор или произвести гарантийный ремонт.

Информация о товаре

Термостатированный опорный генератор (10 МГц), высокая долговременная стабильность частоты (< 1,5×10 -8 в год).

Читайте также  Топ бюджетных генераторов 6

Комплект поставки Опция 40/90

Наименование Количество
1. Опция-40/90 термостатированный опорный генератор (10 МГц) 1

Частотомеры лабораторные и другие современные электроизмерительные приборы имеют широкий функционал, что существенно упрощает любые расчеты как в лабораторных, так и в полевых условиях. Плюс большинство из них выполнено в компактном форм-факторе, а это одно из главных условий беспроблемной эксплуатации. Опция 40/90 — термостатированный опорный генератор (10 МГц) — эталон по всем критериям. Удобство использования сочетается с отличными рабочими характеристиками и впечатляющей надежностью. Прибор работает быстро и четко, отвечает отраслевым стандартам и не требует сложного затратного обслуживания.

  • Безналичный расчет (для юридических лиц). Вместе с заказом вышлите нам реквизиты Вашей компании. Отдел продаж выставит Вам счёт и вышлет его по электронной почте и факсу.
  • Банковский перевод (для физических лиц). Наши менеджеры вышлют Вам по электронной почте счет на оплату, который Вы можете оплатить через любой банк действующий на территории РФ (комиссия банка может составлять 2-5% от суммы стоимости заказа).

Гарантия и доставка

  1. Самовывоз При получении груза с нашего склада необходимо иметь при себе: Доверенность (форма № М-2, утверждённая постановлением Госкомстата России от 30.10.97 №71а) или печать от организации Получателя на право получения оборудования.
  2. ДОСТАВКА АВТОТРАНСПОРТОМ МЕРАТЕСТ по Москве и Московской области осуществляется бесплатно если сумма оплаченного Вами счета превышает 300 (триста тысяч) рублей. Стоимость остального вида доставки груза по Москве и Московской области составляет от 500 до 1500 рублей. Точную стоимость доставки просим уточнять у менеджеров Метрологического Центра МЕРАТЕСТ. ВНИМАНИЕ:ожидание водителя на месте разгрузки товара составляет не более 30 минут.Для получения продукции Вам необходима печать или доверенность.
  3. Доставка через транспортную компанию ДЕЛОВЫЕ ЛИНИИ Доставка Деловыми линиями является оптимальной с точки зрения соотношения скорости перевозки и цены. Доставка до склада транспортной компании по г. Москве осуществляется нашей компанией бесплатно.Сразу же после отправки груза к Вам на эллектронную почту придет уведомление об отправки груза, в виде отсканированной ТТН. По ее номеру на сайте ТК Деловые Линии Вы сможете отследить отправку и местонахождение Вашего груза.

Гарантия 12 месяцев, если иное не предусмотрено заводом производителем В течении 30 дней компании обязуется заменить прибор или произвести гарантийный ремонт.

Термостатированный генератор 10 мгц

Внимание! Перед тем как создавать тему на форуме, воспользуйтесь поиском! Пользователь создавший тему, которая уже была, будет немедленно забанен! Читайте правила названия тем. Пользователи создавшие тему с непонятными заголовками, к примеру: «Помогите, Схема, Резистор, Хелп и т.п.» также будут заблокированны навсегда. Пользователь создавший тему не по разделу форума будет немедленно забанен! Уважайте форум, и вас также будут уважать!

Группа: Cоучастник
Сообщений: 344
Пользователь №: 40844
Регистрация: 23-December 08
Место жительства: г. Донецк

Хочу поставить VC-TCXO-204C2 в качастве генератора для тактирования PIC контроллера для частотомера. Меня пытаются отговорить.

QUOTE
В качестве задающего VC-TXCO ставить нельзя — точность будет никакучая. Частота на выходе VC-TXCO зависит от управляющего напряжения на входе подстройки. При колебаниях температуры, выходное напряжение стабилизатора гуляет. Хоть и не много, но гуляет. В итоге будет гулять и частота VC-TXCO. Поэтому кварц на 13 с точностью 2ppm оказывается в разы точнее и стабильнее, чем VC-TXCO. И схема проще, компактней и надёжней.

А что думаете вы ?

Согласно даташиту:
— cтабильность по частоте при t = -30. +80C : ±2.5×10–6
— Frequency Deviation/ Voltage (only VC-TCXO) : 8

Вот такая схема включения:

Группа: Cоучастник
Сообщений: 318
Пользователь №: 83598
Регистрация: 13-August 11

QUOTE (slavon-x86 @ Oct 20 2015, 02:41 PM)
Хочу поставить VC-TCXO-204C2 в качастве генератора для тактирования PIC контроллера для частотомера. Меня пытаются отговорить.
QUOTE
В качестве задающего VC-TXCO ставить нельзя — точность будет никакучая. Частота на выходе VC-TXCO зависит от управляющего напряжения на входе подстройки. При колебаниях температуры, выходное напряжение стабилизатора гуляет. Хоть и не много, но гуляет. В итоге будет гулять и частота VC-TXCO. Поэтому кварц на 13 с точностью 2ppm оказывается в разы точнее и стабильнее, чем VC-TXCO. И схема проще, компактней и надёжней.

А что думаете вы ?

Согласно даташиту:
— cтабильность по частоте при t = -30. +80C : ±2.5×10–6
— Frequency Deviation/ Voltage (only VC-TCXO) : 8

Группа: Cоучастник
Сообщений: 144
Пользователь №: 108270
Регистрация: 8-November 14

Писавший Вам сей ответ по видимому, не часто имел дело с термокомпенсированными (TCXO) ОГ. Я имею ввиду, что он будет "гулять" по частоте. Опыт постройки СВЧ апаратуры (а там ГигаГерцы и 1 Гц ухода ОГ ведет к уходу частоты в итоге на кГц-ы!) показал, что обычных КРЕНок вполне достаточно для достижения стабильной частоты. Вопрос СПМШ (спектральная плотность мощности шума) генератора — вопрос другой и диктует применение прецизионных малошумящих стабилизаторов напряжения питания как ОГ, так и самого гетеродина/синтезатора. Но к частотомеру это отношения не имеет.

К тому же даже кварц в конечном итоге будет работать в генераторе и его тоже придется подстраивать. А кто учитывает ТКЕ кондеров, ТКС резисторов при его построение. В итоге получите на порядок худшую стабильность.

Итог.
1. Если есть много денег и частотомер имеет много разрядов и необходима высокая точность установки его частоты, то надо замахнуться на "рубидиевый стандарт". На Е-бее за зеленые деньги можно купить б/у.
2. Если денег меньше, но точность нужна, то GPS-синхронизированный генератор. Возится долго и время установки эталонной частоты может достигать суток.
3. Если денег не очень много, то лучше взять термостатированный опорник (OCXO). Он содержит термостат и имеет точность достаточную для большинства случаев даже в СВЧ технике.
4. Если денег не много, то надо выбирать термокомпенсированные КГ (TCXO). Их стабильность раз в 5-10 ниже хорошего термостата, но в большинстве радиолюбительских не клинических случаев , этого достаточно.
5. Если вы нищий радиолюбитель, то можно поступить по принципу — слепила из того, что было. В итоге оно так и будет работать. Но опять таки, достаточно часто этого хватает.

Группа: Cоучастник
Сообщений: 474
Пользователь №: 59732
Регистрация: 20-January 10
Место жительства: Украина

Для стационарного устройства есть еще один вариант — использовать как опору частоту развертки ТВ сигнала , как здесь :

Группа: Cоучастник
Сообщений: 5063
Пользователь №: 99518
Регистрация: 13-March 13

Группа: Cоучастник
Сообщений: 634
Пользователь №: 68690
Регистрация: 21-July 10
Место жительства: Ессентуки

Позволю себе подкинуть и свои пять копеек (может не много не в тему).
Пару тройку лет назад озадачился постройкой "нормального" частотомера для своих радиолюбительских целей. Дело в том, что у меня до этого были самодельные частотомеры построенные на PIC. В качестве опорника использовался обычный кварц на 4 мгц. Меня вроде бы все устраивало до поры до времени пока я не замахнулся на изготовление синтезаторов частоты на частоты свыше 100 мгц. Вот тут и проявились недостатки "простых" частотомеров, главный из которых нестабильность показаний последних разрядов — в связи с тем что использовался прескалер показания скакали не хило, что очень мешало точной настройке синтезаторов частоты.
Короче, начал поиски более продвинутых частотомеров, и коллеги тут на портале подсказали мне про разработку Леонида Ивановича FC-510. Собирал я его месяца три, в качестве опорника поставил термокомпенсированный кварцевый генератор от какой-то советской военной радиостанции на 10 мгц (приобрел у форумчанина 4uvak). Калибровал это дело с использованием заводского частотомера, в котором стоял термостат. В общем результатом остался оочень доволен, стабильность показаний весьма впечатлила. Мне для моих скромных нужд такой стабильности вполне хватает. Ставить что-то более стабильное не вижу смысла, т.к. это не лабораторный частотомер.

Группа: Cоучастник
Сообщений: 344
Пользователь №: 40844
Регистрация: 23-December 08
Место жительства: г. Донецк

Тут по сути выбор между VC-TCXO-204C2 и хорошим кварцем на 13 МГц.
Если взять за условие что цена одинакова. что Вы выберете ?

Пока выигрывает VC-TCXO-204C2. Он стабильнее. И в отличие от кварца можно подстраивать подстроечным резистором, который по сути является 2 резисторами, сопротивление которых изменяется относительно друг друга в зависимости от температуры.

Это сообщение отредактировал slavon-x86 — Oct 24 2015, 03:52 AM

Группа: Cоучастник
Сообщений: 318
Пользователь №: 83598
Регистрация: 13-August 11

QUOTE (ANOTHER_HUNTER @ Oct 21 2015, 08:25 PM)
обычных КРЕНок вполне достаточно для достижения стабильной частоты
.
4. Если денег не много, то надо выбирать термокомпенсированные КГ (TCXO). Их стабильность раз в 5-10 ниже хорошего термостата, но в большинстве радиолюбительских не клинических случаев , этого достаточно.

Стабильности КР142ЕН5 (7805) может быть и достаточно. А вот шумов на шине питания бывает слишком много. Поэтому отдельный референсный источник на LM317L будет очень кстати.

По пункту 4 — так упомянутый ТС генератор и есть TCXO, только с подстройкой не подстроечным конденсатором, а варикапом.

Группа: Cоучастник
Сообщений: 318
Пользователь №: 83598
Регистрация: 13-August 11

QUOTE (slavon-x86 @ Oct 24 2015, 04:51 AM)
Тут по сути выбор между VC-TCXO-204C2 и хорошим кварцем на 13 МГц.
Если взять за условие что цена одинакова. что Вы выберете ?

Группа: Cоучастник
Сообщений: 344
Пользователь №: 40844
Регистрация: 23-December 08
Место жительства: г. Донецк

Группа: Cоучастник
Сообщений: 3241
Пользователь №: 65530
Регистрация: 30-April 10
Место жительства: Toronto, Canada

Группа: Cоучастник
Сообщений: 144
Пользователь №: 108270
Регистрация: 8-November 14

QUOTE (straus @ Oct 24 2015, 03:34 PM)
Поэтому отдельный референсный источник на LM317L будет очень кстати.

Группа: Cоучастник
Сообщений: 144
Пользователь №: 108270
Регистрация: 8-November 14

Генераторы постоянного тока и высокочастотные источники питания

ГЕНЕРАТОРЫ ПОСТОЯННОГО ТОКА И ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ ИСТОЧНИКИ ПИТАНИЯ

Подразделения ENI и ASTeX компании MKS Instruments

Подразделения «ENI» и «ASTeX» компании MKS Instruments специализируются на разработке и серийном производстве оборудования для современных плазменных технологий. В перечень входят источники постоянного тока (непрерывные и импульсные), ВЧ-генераторы, СВЧ-генераторы, устройства согласования нагрузки, датчики мощности с обратной связью, СВЧ-источники плазмы.
Продукция «ENI» и «ASTeX» перекрывает широчайший спектр применений в области плазменных технологий.

ИСТОЧНИКИ ПОСТОЯННОГО ТОКА

Модульные (возможность добавления 20 кВт блоков) непрерывные источники тока с встроенной системой подавления дуг, диапазон мощностей 5÷120 кВт.

DCG — переключение между 3-мя диапазонами по мощности, пассивная система подавления дуг; опция — активная система ArcKill (время жизни дуги менее 75 мкс)

OPTIMA — новейшая серия источников постоянного тока. Нет необходимости переключения между диапазонами мощности, пассивная и активная система борьбы с образованием дуг и микродуг (время жизни дуги менее 7,5 мкс).

Импульсные источники постоянного тока серии RPG — мощность 5÷10 кВт, 25÷250 кГц, асимметричные моно- и биполярные импульсы.

ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ

ACG — компактные и легкие генераторы малой мощности — 0,3÷1кВт, 13,56 МГц.

OEM — 0,6÷2,8 кВт, 13,56 МГц.

Genesis — генераторы, с рабочими частотами 1,6, 2, 3,2, 13,56, 27,12 и 40,68 МГц в диапазоне мощности 1,25÷8 кВт.

Spectrum — компактные генераторы. Мощность — 1,5÷10 кВт, частоты 13,56 и 2МГц. Возможность импульсной работы с частотой импульсов 0÷1000Гц.

ОБОРУДОВАНИЕ СОГЛАСОВАНИЯ УПРАВЛЕНИЯ РАБОТОЙ ВЧ-ГЕНЕРАТОРОВ

Устройства согласования Matchwork

Датчик ВЧ-мощности V/I Probe

СВЧ-СИСТЕМЫ ASTEX — 2,44-2,47 ГГЦ, 2-6 КВТ

СВЧ-генераторы, устройства согласования, источники плазмы.

ИСТОЧНИКИ ПОСТОЯННОГО ТОКА ENI

«MKS ENI Products» производит семейство высоконадежных непрерывных и импульсных источников постоянного тока в интервале мощностей 5-60кВт и более. Их конструкция компактна и дает возможность наращивания мощности до 200 кВт путем присоединения дополнительных 20 кВт модулей. Мониторинг и контроль дополнительных модулей осуществляется основным источником, что обеспечивает необходимую точность работы блока во всем рабочем диапазоне и ликвидирует задержки при обнаружении искровых пробоев.
Серии Optima, DCG и RPG представляют собой самый передовой модельный ряд источников постоянного тока для промышленного применения. Сконструированные с акцентом на исключительную воспроизводимость заданных параметров, превосходный контроль дугообразования, высокую надежность и удобство пользования, источники питания «MKS ENI» обеспечивают высокую производительность технологических процессов.

Optima и DCG

Серия «Optima» и «DCG» — это непрерывные источники постоянного тока, обеспечивающие надежную и точную работу в диапазоне мощностей 5-60 кВт и выше, обладают автоматической биполярной системой подавления дуг. Источники этой серии обладают высокими точностью (0,1%) и линейностью для повышенной воспроизводимости.
По желанию пользователя источники питания снабжаются встроенными или дистанционными блоками управления, которые могут быть как аналоговыми, так и цифровыми. Высокая работоспособность и гибкость системы обеспечивается большим набором настраиваемых режимов. «Optima» может использоваться как источник тока, напряжения или мощности в зависимости от выбранного режима. Пользователь может запрограммировать последовательность из различных режимов (до 10), необходимую для его техпроцесса.
В источники серии «DCG» в качестве дополнительного оборудования может устанавливаться улучшенная система подавления дуг «ArcKill» — время детектирования дуги < 50 нс, пиковый ток < 10 A, полная энергия дуги < 0,5 мДж.


RPG

«RPG» — серия импульсных источников постоянного тока для мощностей 5-10 кВт. Источники «RPG» обеспечивают ассиметричные моно- и биполярные электрические импульсы с сохранением точности, воспроизводимости и гибкости непрерывных источников Optima. Частота повторения импульсов настраивается пользователем в диапазонах 25-125 кГц или 50-250 кГц, в зависимости от модели, что делает возможной настройку под изготовление множества видов тонких пленок.

ВЧ ГЕНЕРАТОРЫ ENI

Оптимальное решение для технологий плазменного травления и напыления.
Модельный ряд перекрывает весь диапазон рабочих параметров ВЧ источников питания, необходимых в современном производстве: частоты от 1 до 41 Мгц, мощности от 300 ватт до 10 киловатт. Генераторы «ENI», построенные на полупроводниковой элементной базе, отличаются проверенной высокой надежностью, точностью и стабильностью характеристик. Они становятся неотъемлемыми элементами плазменных установок для современной индустрии полупроводников. Дополнение ВЧ-генераторов производимыми «ENI» устройствами согласования нагрузки Matchwork и датчиками мощности (V/I Probe) делает их самодостаточными системами по управлению технологическим процессом.
ВЧ генераторы «ENI» делятся на четыре группы в соответствии с их рабочими характеристиками и возможностями применения:

— серия «ACG»

Серия компактных ВЧ-генераторов с воздушным охлаждением.
Генераторы ACG применяются для случаев малой потребной мощности (300-1000 Вт) и высокой частоты (13,56 МГц).

— серия «OEM»
ВЧ-генераторы, диапазон мощностей 0,6 — 2,8 кВт на частоте 13,56 МГц.

— серия Genesis

Платформа Genesis сконструирована для надежной работы в разнообразных плазменных технологических установках и отвечает широкому диапазону требований к рабочим характеристикам: частота генерации — 1-41 МГц, мощность — 1,25-8 кВт. Система контроля мощности на базе DSP (Digital Signal Processing) обеспечивает самодиагностику.

— серия «Spectrum»
Компактные генераторы этой серии перекрывают диапазон мощностей от 1,5 до 10 кВт (13,56 МГц). Отличаются модульной конструкцией с возможностью расширения, точностью ± 1%, высокой надежностью и исключительной плотностью ВЧ мощности.

Устройства диагностики и согласования для ВЧ-генераторов

Датчик мощности «V/I Probe»
Точное измерение напряжения, силы тока и разности фаз генерируемой ВЧ-энергии для контроля и оптимизации процесса.
Линейка устройств согласования нагрузки Matchwork (В Series, LD Series, H Series, M Series, Dual Series) предназначена для повышения воспроизводимости и производительности технологических процессов и обеспечивает высокую скорость подстройки для согласования переменного сопротивления в рабочей камере и рабочей нагрузки генератора. Обычно параметры устройств Matchwork подбираются под конкретную конфигурацию установки и соответствуют практически всему диапазону генераторов «ENI» по мощности и частоте.
Устройства согласования нагрузки обеспечивают непрерывное выравнивание сопротивлений разрядной системы для оптимальной передачи ВЧ-мощности от генератора в разрядную камеру. Это дает высокую эффективность в процессах травления, напыления и т.д.

СВЧ-СИСТЕМЫ «ASTeX» — 2,44-2,47 ГГц, 2-6 кВт

СВЧ-системы «ASTeX» представляют собой не только источники СВЧ энергии SmartPower в диапазоне мощности 2-6 кВт. Источники могут быть дополнены высокоточными измерителями мощности PPD с обратной связью, устройствами согласования нагрузки SmartMatch и источниками плазмы AX7610. Источники плазмы мощностью 3 кВт выпускаются в двух версиях для нейтральной и агрессивной среды соответственно с кварцевыми и сапфировыми трубками.
Совокупность СВЧ-элементов «ASTeX» дает возможность построения автоматических плазменных систем для модификации поверхности, обработки полимеров, пассивации, удаления фоторезиста и других современных плазменных технологий.
Одним из решающих достоинств «ASTeX» является возможность индивидуального подхода к потребностям заказчика при выборе оптимального решения для конкретных условий вплоть до исследования и отладки всего технологического процесса в лабораториях производителя.

Rohde&Schwarz HM8123-X — программируемый частотомер с термостатированным кварцевым генератором (OCXO)

Rohde&Schwarz HM8123-X - программируемый частотомер с термостатированным кварцевым генератором (OCXO)

Программируемый частотомер Rohde&Schwarz НМ8123-X предназначен для автоматического измерения частоты и периода непрерывных электрических сигналов, частоты и периода пикового напряжения поступающего на вход, измерения длительности импульсов и временного интервала, измерения отношения частот, фазового сдвига между сигналами, счета числа импульсов частоты.
Частотомер может применяться для настройки, испытаний и калибровки различного рода приемопередающих трактов, фильтров, генераторов, для настройки систем связи и других устройств. Частотомер может быть использован в технике связи, измерительной технике, радиолокации, радионавигации, ядерной физике, полупроводниковой электронике, при разработке, производстве, эксплуатации и метрологическом обеспечении различных радиоэлектронных устройств.

Особенности:

  • Диапазон измерения: от 0 Гц до 3 ГГц
    • Канал A/B (BNC): от 0 Гц до 200 МГц
    • Канал C (SMA): от 100 МГц до 3 ГГц
    • Канал A/B: 50 Ом или 1 МОм (переключ.), чувствительность: 25 мВ
    • Канал C: 50 Ом, чувствительность: 30 мВ

    Комплект поставки Rohde&Schwarz НМ8123-X:

    • Прибор;
    • Кабель питания.

    Технические характеристики Rohde&Schwarz HM8123-X

    Параметр

    Значение

    Диапазон частот

    Каналы А и B (BNC)

    0 Гц – 200 МГц (синус, импульсный)

    Канал C (SMA)

    100 МГц – 3 ГГц (синус)

    Чувствительность

    Каналы А и B

    25 мВСКЗ (синус), 80 мВразмах (импульсный)

    50 мВСКЗ (синус, автозапуск)

    Канал C

    30 мВСКЗ (тип. 20 мВСКЗ)

    100 мВСКЗ (тип. 80 мВСКЗ)

    Импеданс

    Каналы А и B

    1 М: II 30 пФ или 50 : (подключаемый)

    Канал C

    Ослабление (входной аттенюатор)

    Каналы А и B

    1:1, 1:10, 1:100 (выбираемое)

    Канал C

    Максимальное входное напряжение

    Каналы А и B

    для 1М:: 250В (DC+ACпик) 0-440 Гц снижение до 8 ВСКЗ на 1 МГц для 50 :: 5 ВСКЗ

    Канал C

    Временная база (Time base)

    Частота

    Тактовая частота 400 МГц; 10 МГц кварц

    Температурная стабильность
    (0 – 50°C)

    Старение

    Виды измерений

    Частота A/B/C; период A; длительность A; измерение событий сигнала (импульсов, периодов) в A; измерение числа оборотов в минуту A (RPM); отношение частот A:B; временной интервал между A и B; усреднение временного интервала между A и B; фаза между A и B; коэффициент заполнения A; импульсные измерения

    Измерение частоты (входы A, B, C)

    Диапазон частот

    0 — 200 МГц (3 ГГц)

    Значение младшего разряда (LSD)

    (1,25 x 10 -8 с х Частота)/ Время измерения

    Разрешение

    1 значение младшего разряда (LSD)

    Погрешность

    ±(разрешение/частота ±временная погрешность
    ±погрешность уровня формирования1) / время измерения)

    Измерение периода

    Диапазон

    Значение младшего разряда (LSD)

    (1,25 x 10 -8 с х Период)/ Время измерения

    Разрешение

    1 значение младшего разряда (LSD)

    Погрешность

    ±разрешение/период
    ±(погрешность уровня формирования1) / время измерения)

    Измерение событий сигнала (импульсов, периодов)

    Диапазон

    Минимальная длительность импульса

    Значение младшего разряда (LSD)

    Разрешение

    1 значение младшего разряда (LSD)

    Погрешность

    (разрешение ±погрешность внешнего строб импульса x частота A)/сумма

    Разрешение по длительности

    Измерение временного интервала / Усреднение

    (вход A = запуск; вход B = остановка)

    Значение младшего разряда (LSD)

    10 нс (0,1 пс — 10 нс в режиме «усреднения»)

    Разрешение

    1 значение младшего разряда (LSD)

    Погрешность

    ±(разрешение + погрешность уровня формирования1)

    + систематич. погрешность) / временной интервал

    ±погрешность времени (систематич. погр.: ≤ 4 нс)

    Количество усреднений

    N = 1 – 25 LSD = 10 нс

    N = 26 – 2’500 LSD = 1 нс

    N = 2’501 – 250’000 LSD = 100 пс

    N = 250’001 – 25’000’000 LSD = 10 пс N > 25’000’000 LSD = 0,1 пс

    Измерение числа оборотов в минуту (RPM)

    Предустановка

    1 – 65’535 импульсов на оборот

    Время счета

    330 мс, фиксировано

    Значение младшего разряда (LSD)

    7,5 x 10 -8 x скорость вращения

    Разрешение

    1 значение младшего разряда (LSD)

    Погрешность

    ±(( погрешность уровня формирования1) / 0,33)
    ±погрешность временной базы

    Время счета (Время стробирования)

    Диапазон

    Разрешение

    Внешний строб-импульс

    Прочие характеристики

    Интерфейсы

    USB/RS-232 (HO820), IEEE-488 (GPIB) (HO880)

    Питание

    115 — 230 В +/-10 %, 45 — 60 Гц, CAT II

    Потребляемая мощность

    приблизительно 20 Вт

    Габариты (Ш x В x Г), мм

    Масса

    Область применения Rohde&Schwarz HM8123-X

    1. Разработка аналоговых высокочастотных схем:
    • Высокая чувствительность и диапазон частот до 3 ГГц;
    • 10-разрядное разрешение для повышения точности результатов измерений;
    • Дополнительный термостатированный кварцевый генератор для более высокой точности.
    1. Разработка устройств синхронизации и систем распределения синхросигналов:
      • Межканальные измерения: частота/период/интервал времени/фаза A:B;
      • Импульсные измерения.
    2. Обучение и обслуживание:
      • Быстрая загрузка;
      • Удобство использования.

    Опции и аксессуары Rohde&Schwarz HM8123-X

    Артикул

    Наименование

    Программируемый частотомер (3 ГГц) с термокомпенсированным кварцевым генератором (TCXO)

    Программируемый частотомер (3 ГГц)

    с термостатированным кварцевым генератором (OCXO)

    Термостатированный кварцевый генератор (OCXO) (устанавливается на фабрике)

Понравилась статья? Поделиться с друзьями:
Добавить комментарий

;-) :| :x :twisted: :smile: :shock: :sad: :roll: :razz: :oops: :o :mrgreen: :lol: :idea: :grin: :evil: :cry: :cool: :arrow: :???: :?: :!: